Download de Dados
- Brochura Baixar
O robô da série NTS pode aceder a 2 e 3 FOUPs da EFEM sem um trilho. O sistema de acionamento especialmente concebido permite que o robô se mova de forma incrivelmente suave e com alta precisão.
A série está em conformidade com o padrão SEMI-F47, bem como com o padrão SEMI-S2.
※ Before using CAD data, please be sure to read disclaimer here.