TTS10

tts 1

O robô da série TTS pode aceder a 2 e 3 FOUPs da EFEM sem um trilho. O sistema de acionamento especialmente concebido permite que o robô se mova de forma incrivelmente suave e com alta precisão. Além disso, o seu mecanismo telescópico rígido proporciona um manuseamento de alta velocidade em posições altas e baixas.

A série está em conformidade com a norma SEMI-F47, bem como com a norma SEMI-S2.