NTS10

NTS10-01

NTS-seriens robot kan få adgang til 2 og 3 FOUP'er af EFEM uden et spor. Det specialdesignede drivsystem gør det muligt for robotten at bevæge sig utroligt glat og med høj præcision.

Serien er kompatibel med SEMI-F47 standarden samt SEMI-S2 standarden.