TTS20

TTS20

TTS-seriens robot kan få adgang til 2 og 3 FOUP'er af EFEM uden et spor. Det specialdesignede drivsystem gør det muligt for robotten at bevæge sig utroligt glat og med høj præcision. Derudover leverer den stive teleskopmekanisme hurtig håndtering i høje og lave positioner.

Serien er kompatibel med SEMI-F47 standarden samt SEMI-S2 standarden.