TTS10

TTS10

El robot de la serie TTS puede acceder a 2 y 3 FOUP de EFEM sin pista. El sistema de accionamiento especialmente diseñado permite que el robot se mueva con increíble suavidad y alta precisión. Además, su mecanismo telescópico rígido ofrece un manejo a alta velocidad en posiciones altas y bajas.

La serie cumple con el estándar SEMI-F47 así como con el estándar SEMI-S2.