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El robot de la serie NTS puede acceder a 2 y 3 FOUP de EFEM sin pista. El sistema de accionamiento especialmente diseñado permite que el robot se mueva con increíble suavidad y alta precisión.
La serie cumple con el estándar SEMI-F47 así como con el estándar SEMI-S2.
※Antes de usar datos CAD, asegúrese de leer el descargo de responsabilidad aquí.