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Le robot de la série TTS peut accéder à 2 et 3 FOUP d'EFEM sans piste. Le système d'entraînement spécialement conçu permet au robot de se déplacer incroyablement en douceur et avec une grande précision. De plus, son mécanisme télescopique rigide offre une manipulation à grande vitesse dans les positions hautes et basses.
La série est conforme à la norme SEMI-F47 ainsi qu'à la norme SEMI-S2.
※Avant d'utiliser les données CAO, assurez-vous de lire la clause de non-responsabilité ici.