TTS10

tts

TTS 系列機器人可以在沒有軌道的情況下訪問 EFEM 的 2 個和 3 個 FOUP。特別設計的驅動系統使機器人能夠極其平穩和高精度地移動。此外,其剛性伸縮機構可在高低位置提供高速處理。

該系列符合 SEMI-F47 標準以及 SEMI-S2 標準。