Le transfert de plaquettes est un processus frontal important des équipements de fabrication de semi-conducteurs qui, en particulier, nécessite une précision et une vitesse élevées.
Les robots de transfert de plaquettes de haute qualité, hautes performances et propres de Kawasaki se classent au premier rang mondial.
Robots pour Manipulation des tranches de silicium
Robots de transfert de plaquettes
Robots qui transfèrent des tranches dans le processus critique des équipements de fabrication de semi-conducteurs.