矽晶片處理

Silicon Wafer Handling

晶圓轉移是半導體製造設備的重要前端工藝,對精度和速度的要求尤其高。
川崎的高品質、高性能、清潔的晶圓搬運機器人擁有世界第一的份額。

矽晶片處理的機器人

晶圓傳送機器人

晶圓傳送機器人

在半導體製造設備的關鍵過程中傳送晶圓的機器人。