TTS20 最大臂長範圍1066 mm機器人類別晶圓傳送機器人安裝地面機器人系列TTS系列 TTS 系列機器人可以在沒有軌道的情況下訪問 EFEM 的 2 個和 3 個 FOUP。特別設計的驅動系統使機器人能夠極其平穩和高精度地移動。此外,其剛性伸縮機構可在高低位置提供高速處理。 該系列符合 SEMI-F47 標準以及 SEMI-S2 標準。 應用矽晶片處理 資料下載 手冊 下載 ※使用CAD數據前,請務必閱讀此處的免責聲明。
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