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Il robot della serie NTS può accedere a 2 e 3 FOUP di EFEM senza una traccia. Il sistema di azionamento appositamente progettato consente al robot di muoversi in modo incredibilmente fluido e con alta precisione.
La serie è conforme allo standard SEMI-F47 e allo standard SEMI-S2.
※Prima di utilizzare i dati CAD, assicurati di leggere il disclaimer qui.