Robot per il trasferimento di wafer

I robot per il trasferimento dei wafer di Kawasaki vantano la quota maggiore al mondo.
Sono conformi agli standard SEMI-F47 e SEMI-S2 e possono accedere da 3 a 4 FOUPS senza binario.

serie NTJ

Original drive mechanism provides highly accurate and smooth operations

serie TTJ

High-speed transfer in high and low pass-lines, thanks to a unique highrigidity telescopic mechanism.

serie NTH

The long arm that is offset from the center of the base can access 4FOUP without a track.

serie NX

Installation in a small space is possible, thanks to its compact arm construction.