웨이퍼 반송 로봇

세계 최고의 점유율을 자랑하는 가와사키의 웨이퍼 반송 로봇.
SEMI-F47 및 SEMI-S2 규격에 대응하며, 3FOUP-4FOUP까지의 EFEM에 주행 장치 없이 대응이 가능합니다.

NTS 시리즈

■ 2FOUP에서부터 3FOUP의 EFEM 대응
■ 독자적인 구동 기구를 통해 고정밀도의 동작을 실현
■ SEMI-F47, SEMI-S2에 적합

TTS 시리즈

■ 상하축에 텔레스코프 구조를 채택해 상하로 보다 넓은 동작 범위를 실현
■ SEMI-F47 기구, SEMI-S2에 적합