Die Wafer-Transferroboter von Kawasaki haben den weltweit größten Anteil.
Sie entsprechen den Normen SEMI-F47 und SEMI-S2 und können auf 3 bis 4 FOUPS ohne Spur zugreifen.
NTS series
■ Zugänglich für 2 und 3 FOUP FEM.
■ Reibungsloser und präziser Betrieb dank des originalen Antriebsmechanismus.
■ Entspricht den Normen SEMI-F47 und S2.

NTS10
- Maximale Nutzlast —
- Maximale Reichweite 1066mm
- Anwendungen Wafertransfer
- Kategorien Wafer-Transportroboter
- Mounting Boden
- Series NTS-Serie

NTS20
- Maximale Nutzlast —
- Maximale Reichweite 1066mm
- Anwendungen Wafertransfer
- Kategorien Wafer-Transportroboter
- Mounting Boden
- Series NTS-Serie
TTS series
■ Einzigartiger Teleskopmechanismus zur Abdeckung hoher und niedriger Positionen.
■ Entspricht den Normen SEMI-F47 und S-2.

TTS10
- Maximale Nutzlast —
- Maximale Reichweite 1066mm
- Anwendungen Wafertransfer
- Kategorien Wafer-Transportroboter
- Mounting Boden
- Series TTS-Serie

TTS20
- Maximale Nutzlast —
- Maximale Reichweite 1066mm
- Anwendungen Wafertransfer
- Kategorien Wafer-Transportroboter
- Mounting Boden
- Series TTS-Serie