Wafer-Transferroboter

Die Wafer-Transferroboter von Kawasaki haben den weltweit größten Anteil.
Sie entsprechen den Normen SEMI-F47 und SEMI-S2 und können auf 3 bis 4 FOUPS ohne Spur zugreifen.

NTS series

■ Zugänglich für 2 und 3 FOUP FEM.
■ Reibungsloser und präziser Betrieb dank des originalen Antriebsmechanismus.
■ Entspricht den Normen SEMI-F47 und S2.

TTS series

■ Einzigartiger Teleskopmechanismus zur Abdeckung hoher und niedriger Positionen.
■ Entspricht den Normen SEMI-F47 und S-2.