世界トップシェアを誇るカワサキのウェハ搬送ロボット。
SEMI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、3FOUP～４FOUPまでのEFEMに走行装置なしで対応が可能です。
NTSシリーズ
■ 2FOUPから3FOUPのEFEM対応
■ 独自の駆動機構により、高精度な動作を実現
■ SEMI-F47、SEMI-S2に適合
NTS10
- 最大可搬質量 —
- 最大リーチ 1066mm
- 適用用途 ウェハ搬送
- ロボットカテゴリ ウェハ搬送ロボット
- 設置方式 床置き
- シリーズ NTSシリーズ
NTS20
- 最大可搬質量 —
- 最大リーチ 1066mm
- 適用用途 ウェハ搬送
- ロボットカテゴリ ウェハ搬送ロボット
- 設置方式 床置き
- シリーズ NTSシリーズ
TTSシリーズ
■ 上下軸にテレスコピック機構を採用し、より上下に広い動作範囲を実現
■ SEMI-F47、SEMI-S2に適合
TTS10
- 最大可搬質量 —
- 最大リーチ 1066mm
- 適用用途 ウェハ搬送
- ロボットカテゴリ ウェハ搬送ロボット
- 設置方式 床置き
- シリーズ TTSシリーズ
TTS20
- 最大可搬質量 —
- 最大リーチ 1066mm
- 適用用途 ウェハ搬送
- ロボットカテゴリ ウェハ搬送ロボット
- 設置方式 床置き
- シリーズ TTSシリーズ