ウェハ搬送ロボット

世界トップシェアを誇るカワサキのウェハ搬送ロボット。
SEMI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、3FOUP~4FOUPまでのEFEMに走行装置なしで対応が可能です。

NTSシリーズ

■ 2FOUPから3FOUPのEFEM対応
■ 独自の駆動機構により、高精度な動作を実現
■ SEMI-F47、SEMI-S2に適合

NTS10

NTS10

  • 最大可搬質量
  • 最大リーチ 1066mm
  • 適用用途 ウェハ搬送
  • ロボットカテゴリ ウェハ搬送ロボット
  • 設置方式 床置き
  • シリーズ NTSシリーズ
NTS20

NTS20

  • 最大可搬質量
  • 最大リーチ 1066mm
  • 適用用途 ウェハ搬送
  • ロボットカテゴリ ウェハ搬送ロボット
  • 設置方式 床置き
  • シリーズ NTSシリーズ

TTSシリーズ

■ 上下軸にテレスコピック機構を採用し、より上下に広い動作範囲を実現
■ SEMI-F47、SEMI-S2に適合

TTS10

TTS10

  • 最大可搬質量
  • 最大リーチ 1066mm
  • 適用用途 ウェハ搬送
  • ロボットカテゴリ ウェハ搬送ロボット
  • 設置方式 床置き
  • シリーズ TTSシリーズ
TTS20

TTS20

  • 最大可搬質量
  • 最大リーチ 1066mm
  • 適用用途 ウェハ搬送
  • ロボットカテゴリ ウェハ搬送ロボット
  • 設置方式 床置き
  • シリーズ TTSシリーズ