ウェハ搬送ロボット

世界トップシェアを誇るカワサキのウェハ搬送ロボット。
SEMI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、3FOUP～４FOUPまでのEFEMに走行装置なしで対応が可能です。

NTSシリーズ

■ 2FOUPから3FOUPのEFEM対応
■ 独自の駆動機構により、高精度な動作を実現
■ SEMI-F47、SEMI-S2に適合

TTSシリーズ

■ 上下軸にテレスコピック機構を採用し、より上下に広い動作範囲を実現
■ SEMI-F47、SEMI-S2に適合