ウェハ搬送ロボット

■ 世界トップシェアを誇るウェハ搬送ロボット。
■ 川崎重工独自の駆動機構により、高精度・高剛性な動作を実現。
■ SEMNI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、4FOUPまでのEFEMに走行装置無しで対応が可能です。
■ リングフレームや基板搬送にも対応。

NTJシリーズ

独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現

TTJシリーズ

テレスコピック機構を採用し、低位置へのパスラインと高位置への搬送を両立

NTHシリーズ

回転中心をずらしたロングアームにより、走行装置無しで4FOUP装置に対応

NXシリーズ

コンパクトなアーム設計により、省スペースでの設置が可能