回転中心をずらしたロングアームにより、走行装置無しで4FOUP 装置に対応。

・ダブルハンド
・Z軸ストローク長：0～470 ㎜
・把持タイプ：バキューム/エッジグリップ
・対応ウェハサイズ：8インチ、12インチ
・対応FOUP数：最大4FOUP