ウェハ搬送

ウェハ搬送

ウェハ搬送は半導体製造装置の前工程では重要な工程で、特に高精度、高速度が求められます。
カワサキのウェハ搬送ロボットは高品質、高性能のクリーンロボットを提供しており、世界でトップシェアを誇ります。

ウェハ搬送に使用するロボット

ウェハ搬送ロボット

ウェハ搬送ロボット

半導体製造装置の重要工程でウェハの搬送をするロボット。