NTJ20

  • 最大リーチ1067.2 mm
  • ロボットカテゴリ
  • 設置方式床置き
  • ロボットシリーズNTJシリーズ

独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現。

・ダブルハンド
・Z軸ストローク長:0~470 ㎜
・把持タイプ:バキューム/エッジグリップ
・対応ウェハサイズ:8インチ、12インチ
・対応FOUP数:最大3FOUP

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