NTJ11 最大リーチ1067.2 mmロボットカテゴリウェハ搬送ロボット設置方式床置きロボットシリーズNTJシリーズ 独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現。 ・シングルハンド ・Z軸ストローク長:0~470 ㎜ ・把持タイプ:エッジグリップ ・対応ウェハサイズ:8インチ、12インチ ・対応FOUP数:最大3FOUP 適用用途ウェハ搬送 資料ダウンロード カタログ ダウンロード