テレスコピック機構を採用し、低位置へのパスラインと高位置への搬送を両立。

・シングルハンド
・Z軸ストローク長：0～740㎜
・把持タイプ：バキューム/エッジグリップ
・対応ウェハサイズ：8インチ、12インチ
・対応FOUP数：最大3FOUP