NX411 最大リーチ736 mmロボットカテゴリウェハ搬送ロボット設置方式床置きロボットシリーズNXシリーズ コンパクトなアーム設計により、省スペースでの設置が可能。 ・シングルハンド ・Z軸ストローク長:0~330 ㎜ ・把持タイプ:エッジグリップ ・対応ウェハサイズ:8インチ、12インチ ・対応FOUP数:最大2FOUP 適用用途ウェハ搬送 資料ダウンロード カタログ ダウンロード