Pobieranie Danych
- Broszura Pobierz
Robot serii TTS może uzyskać dostęp do 2 i 3 FOUP EFEM bez toru. Specjalnie zaprojektowany układ napędowy umożliwia robotowi poruszanie się niezwykle płynnie i z dużą precyzją. Ponadto sztywny mechanizm teleskopowy zapewnia szybką obsługę w wysokich i niskich pozycjach.
Seria jest zgodna ze standardem SEMI-F47 oraz SEMI-S2.
※Przed użyciem danych CAD przeczytaj zastrzeżenie tutaj.