NTS10

NTS10-01

Robot serii NTS może uzyskać dostęp do 2 i 3 FOUP EFEM bez ścieżki. Specjalnie zaprojektowany układ napędowy umożliwia robotowi poruszanie się niezwykle płynnie i z dużą precyzją.

Seria jest zgodna ze standardem SEMI-F47 oraz SEMI-S2.