Pobieranie Danych
- Broszura Pobierz
Robot serii NTS może uzyskać dostęp do 2 i 3 FOUP EFEM bez ścieżki. Specjalnie zaprojektowany układ napędowy umożliwia robotowi poruszanie się niezwykle płynnie i z dużą precyzją.
Seria jest zgodna ze standardem SEMI-F47 oraz SEMI-S2.
※Przed użyciem danych CAD przeczytaj zastrzeżenie tutaj.