TTS20

TTS20

Robot serii TTS może uzyskać dostęp do 2 i 3 FOUP EFEM bez toru. Specjalnie zaprojektowany układ napędowy umożliwia robotowi poruszanie się niezwykle płynnie i z dużą precyzją. Ponadto sztywny mechanizm teleskopowy zapewnia szybką obsługę w wysokich i niskich pozycjach.

Seria jest zgodna ze standardem SEMI-F47 oraz SEMI-S2.