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Der Roboter der TTS Reihe kann ohne Schiene auf 2 oder 3 EFEM FOUPs zugreifen. Das speziell entwickelte Antriebssystem ermöglicht es dem Roboter, sich unglaublich sanft und mit höchster Präzision zu bewegen. Sein fester Teleskopmechanismus ermöglicht ein schnelles Handling in hohen und niedrigen Positionen.
※Bitte beachten Sie folgende Hinweise, wenn Sie CAD-Daten verwenden.