Robôs de transferência de wafer

A Kawasaki oferece uma linha completa de robôs de manipulação de semicondutores e eletrónica, líderes na indústria. Estes robots são construídos para utilização em aplicações de salas limpas, incluindo ISO Classe 1. A velocidade, precisão e alcance tornam estes robots ideais para o manuseamento de bolachas semicondutoras delicadas, painéis LCD, EL orgânico e painéis solares. Estão em conformidade com as normas SEMI-F47 e SEMI-S2 e podem aceder a 3 a 4 FOUPS sem um trilho.

Série NTS

Acessível a 2 e 3 FOUP FEM
■ Mecanismo de acionamento único produz movimentos suaves e precisos
■ Em conformidade com as normas SEMI-F47 e S2

Série TTS

Mecanismo telescópico único para cobrir posições altas e baixas.
■ Em conformidade com as normas SEMI-F47 e S-2.