Der Wafer-Transport ist ein wichtiger Vorgang, der vor der Herstellung von Halbleitern in einer Halbleiterproduktionsmaschine durchgeführt werden muss und der hohen Präzision und Geschwindigkeit erfordert. Bei den Handhabungsrobotern, die von Kawasaki für den Transport von Wafern angeboten werden, handelt es sich um qualitativ hochwertige Hochleistungs-Reinraumroboter, die weltweit zu den Spitzenreitern in diesem Bereich gehören.
Roboter für Wafertransfer
Wafertransferroboter
Roboter, die den Wafertransfer durchführen, der bei der Herstellung von Halbleitern in einer Halbleiterproduktionsmaschine äußerst wichtig ist.