NX420 최대 리치736 mm로봇 카테고리웨이퍼 반송 로봇설치 방식바닥식시리즈NX시리즈 컴팩트한 암 설계로 작은 공간에도 설치가 가능 ・Double Hand ・Z Stroke：0～330 ㎜ ・Vacuum, Edge grip 대응 ・8 inch wafer 대응 ・최대 2FOUP 대응 적용분야웨이퍼 반송지원되는 컨트롤러F60
