NTH20 최대 리치1226.6 mm로봇 카테고리웨이퍼 반송 로봇설치 방식바닥식시리즈NTH 시리즈 회전 중심을 벗어난 롱 암으로 주행 장치 없이 4FOUP 장치에 대응 ・Double Hand ・Z Stroke：0～470 ㎜ ・Vacuum, Edge grip 대응 ・8 inch, 12 inch wafer 대응 ・최대 4FOUP 대응 적용분야웨이퍼 반송지원되는 컨트롤러F60 데이터 다운로드 카탈로그 다운로드
