NTJ20 최대 리치1067.2 mm로봇 카테고리웨이퍼 반송 로봇설치 방식바닥식시리즈NTJ 시리즈 독자적인 구동 구조로 고정도와 부드러운 움직임을 실현 ・Double Hand ・Z Stroke：0～470 ㎜ ・Vacuum, Edge grip 대응 ・8 inch, 12 inch wafer 대응 ・최대 3FOUP 대응 적용분야웨이퍼 반송지원되는 컨트롤러F60 데이터 다운로드 카탈로그 다운로드
