晶圓傳送機器人

川崎的晶圓搬運機器人擁有世界第一的份額。
它們符合 SEMI-F47 和 SEMI-S2 標準，可以在沒有軌道的情況下訪問 3 到 4 個 FOUPS。

NTS系列

■ 可用於 2 和 3 FOUP FEM。
■ 獨創驅動機構，運轉平穩準確。
■ 符合SEMI-F47 和S2 標準。

TTS系列

■ 獨特的伸縮機構，可覆蓋高低位置。
■ 符合SEMI-F47 和S-2 標準。