川崎的晶圓搬運機器人擁有世界第一的份額。
它們符合 SEMI-F47 和 SEMI-S2 標準,可以在沒有軌道的情況下訪問 3 到 4 個 FOUPS。
NTS系列
■ 可用於 2 和 3 FOUP FEM。
■ 獨創驅動機構,運轉平穩準確。
■ 符合SEMI-F47 和S2 標準。

NTS10
- 有效載荷—
- Max. Reach 1066mm
- 應用矽晶圓處理
- 機器人類別晶圓傳送機器人
- 安裝地板
- 系列NTS 系列

NTS20
- 有效載荷—
- Max. Reach 1066mm
- 應用矽晶圓處理
- 機器人類別晶圓傳送機器人
- 安裝地板
- 系列NTS 系列
TTS系列
■ 獨特的伸縮機構,可覆蓋高低位置。
■ 符合SEMI-F47 和S-2 標準。

TTS10
- 有效載荷—
- Max. Reach 1066mm
- 應用矽晶圓處理
- 機器人類別晶圓傳送機器人
- 安裝地板
- 系列TTS 系列

TTS20
- 有效載荷—
- Max. Reach 1066mm
- 應用矽晶圓處理
- 機器人類別晶圓傳送機器人
- 安裝地板
- 系列TTS 系列