晶圓傳送機器人

川崎的晶圓搬運機器人擁有世界第一的份額。
它們符合 SEMI-F47 和 SEMI-S2 標準,可以在沒有軌道的情況下訪問 3 到 4 個 FOUPS。

NTS系列

■ 可用於 2 和 3 FOUP FEM。
■ 獨創驅動機構,運轉平穩準確。
■ 符合SEMI-F47 和S2 標準。

NTS10

NTS10

  • 有效載荷
  • Max. Reach 1066mm
  • 應用矽晶圓處理
  • 機器人類別晶圓傳送機器人
  • 安裝地板
  • 系列NTS 系列
NTS20

NTS20

  • 有效載荷
  • Max. Reach 1066mm
  • 應用矽晶圓處理
  • 機器人類別晶圓傳送機器人
  • 安裝地板
  • 系列NTS 系列

TTS系列

■ 獨特的伸縮機構,可覆蓋高低位置。
■ 符合SEMI-F47 和S-2 標準。

TTS10

TTS10

  • 有效載荷
  • Max. Reach 1066mm
  • 應用矽晶圓處理
  • 機器人類別晶圓傳送機器人
  • 安裝地板
  • 系列TTS 系列
TTS20

TTS20

  • 有效載荷
  • Max. Reach 1066mm
  • 應用矽晶圓處理
  • 機器人類別晶圓傳送機器人
  • 安裝地板
  • 系列TTS 系列