川崎重工は、2022年12月14日(水)から12月16日(金)までの3日間、東京ビッグサイトにて開催される「SEMICON Japan 2022」に出展いたします。
本展示会では、最新のウェハ搬送ロボットを実機・パネルにて実際のデモ動画を交えてご紹介いたします。
ご来場の際は是非、川崎重工ブース（東5ホール 5734）にお立ち寄りください。
ご来場を心よりお待ちしております。
出展内容
■最新のウェハ搬送ロボットのご紹介
・NTJ20（パネル展示）
-独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現しました。
・TTJ20（パネル展示）
-テレスコピック機構を採用し、低位置へのパスラインと高位置への搬送が可能です。
・NX420（実機静止展示）
-コンパクトなアーム設計により、省スペースでの設置が可能です。
・NTH20（パネル展示）
-回転中心をずらしたロングアームにより、走行装置無しで4FOUP装置に対応しています。
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