
川崎重工は、2025年12月17日(水)から12月19日(金)までの3日間、東京ビッグサイトにて開催される「SEMICON Japan 2025」に出展いたします。
本展示会では、最新のウェハ搬送ロボットや半導体製造工場の自動化提案などをご紹介いたします。
ご来場の際は是非、川崎重工ブース(南ホール S1022)にお立ち寄りください。
ご来場を心よりお待ちしております。
出展内容
■ウェハ搬送ロボットのご紹介
●NTJ11×ベルヌーイハンド(実機展示)
- 独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現するNTJ11が、ベルヌーイハンドにより非接触でウェハを把持・搬送する様子を実演します。
●NV121(実機展示)
- 広い可動域を備えた、高真空対応ウェハ搬送ロボットを実機展示します。

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