広い可動域を備えた、高真空対応ウェハ搬送ロボット

・最大リーチ：1,050 ㎜
・把持タイプ：パッシブ
・対応ウェハサイズ：8インチ、12インチ
・真空度：1.0×10-5～1.1×105(Pa)