TTJ20

  • 最大リーチ1067.2 mm
  • ロボットカテゴリ
  • 設置方式床置き
  • ロボットシリーズTTJシリーズ

テレスコピック機構を採用し、低位置へのパスラインと高位置への搬送を両立。

・ダブルハンド
・Z軸ストローク長:0~740㎜
・把持タイプ:バキューム/エッジグリップ
・対応ウェハサイズ:8インチ、12インチ
・対応FOUP数:最大3FOUP

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