TTJ20
テレスコピック機構を採用し、低位置へのパスラインと高位置への搬送を両立。
・ダブルハンド
・Z軸ストローク長:0~740㎜
・把持タイプ:バキューム/エッジグリップ
・対応ウェハサイズ:8インチ、12インチ
・対応FOUP数:最大3FOUP
テレスコピック機構を採用し、低位置へのパスラインと高位置への搬送を両立。
・ダブルハンド
・Z軸ストローク長:0~740㎜
・把持タイプ:バキューム/エッジグリップ
・対応ウェハサイズ:8インチ、12インチ
・対応FOUP数:最大3FOUP