コンパクトなアーム設計により、省スペースでの設置が可能。

・シングルハンド
・Z軸ストローク長：0～330 ㎜
・把持タイプ：エッジグリップ
・対応ウェハサイズ：8インチ、12インチ
・対応FOUP数：最大2FOUP