独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現。

・シングルハンド
・Z軸ストローク長：0～470 ㎜
・把持タイプ：エッジグリップ
・対応ウェハサイズ：8インチ、12インチ
・対応FOUP数：最大3FOUP