半導体産業は、半導体回路の縮小化技術を中心とした開発が絶え間なく行われ、半導体製品の微細化が進み集積密度を向上させてきました。また新たな世代の半導体製品は高性能化だけでなく製造コストの低減も行われ、大量生産による製造コスト削減により半導体生産設備の初期投資は大規模となります。
カワサキロボットは、このような厳しい競争にさらされる半導体業界において、半導体製造装置向けに、高速、高精度なクリーンロボットのラインナップを整えて、ロボットの周辺装置はもちろんオートメーションシステムのエンジニアリングまで、クリーン業界の幅広いニーズに応えてきました。これからも業界トップの地位をリードするベストソリューションを提供していきます。
適用用途
ハンドリング
「ハンドリング」は材料、部品、製品などをある場所から別の場所に移動させる作業で、製造業に限らずほとんどすべての産業で使われている作業です。
小物部品の高速搬送や、人では持てない重量物ハンドリングなど、多くの分野で産業用ロボットが最も多く使われている作業です。
ロード・アンロード
「ロード・アンロード」はNC工作機械などへ部品を供給し、加工終了後に取出す作業で、機械産業では欠かせない工程です。また、鍛造機械やプレス機械への加工材料の出し入れもロード・アンロードに入ります。
ウェハ搬送
「ウェハ搬送」とは半導体製造装置の前工程でウェハをハンドリングする作業です。
クリーンロボットが使われ、高精度、高速度、スムースな動作が要求されます。